【摘 要】
：
为提高传统二维倾斜镜在非正交方向上的光转换效率,设计并加工了一种转轴非正交二维MEMS倾斜镜。倾斜镜上电极非对称地固定在基底上,通过控制上、下电极的加电方式实现倾斜镜
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,中国科学院研究生院,四川大学物理学院高能量密度物理与技术教育部重点实验室
论文部分内容阅读
为提高传统二维倾斜镜在非正交方向上的光转换效率,设计并加工了一种转轴非正交二维MEMS倾斜镜。倾斜镜上电极非对称地固定在基底上,通过控制上、下电极的加电方式实现倾斜镜在两个非正交轴上的偏转变形。采用三层膜的结构设计,消除了上电极应力变形对镜面平整度的影响。通过在上电极加工微小突起,减小上下电极的重叠面积,避免了倾斜镜的吸合失效;另外,上、下电极仅在其边缘处重叠,确保了静电力的有效利用。研制的倾斜镜驱动电压低,在3.5 V的电压下可实现绕水平X轴0.16°、绕倾斜Y轴0.03°的偏转,Y
其他文献
道路网交通流短时预测是实现智能交通控制和诱导系统的基础,本文以实时采集的交通流数据为基础,运用状态空间重构和G-P算法进行交通流短期特性研究.具体而言,通过分析交通流
<正>本文的述评对象,是五十年代以迄于今我国大陆学者关于兴中会的研究成果。由于专门研究兴中会的成果有限,更多的是散见于各种有关孙中山、辛亥革命以至中国近代史的专著、
为了更好促进国有企业改革实施，切实避免或者减少改革过程中出现的国有资产流失问题，笔者专门探讨了国有企业财务监督问题，在总结阐释当前我国国有企业财务监督工作主要问题的基
本文以敦煌流域为研究对象,以大型电视纪录片《敦煌》为研究重点。通过解读纪录片《敦煌》当中的地域特色,进一步窥视地域特色纪录片的价值。
In this paper, Dunhuang basi
财务管理在企业管理中作用越来越明显，企业的发展已经离不开一个好的财务管理环境。企业必须集中力量作好财务管理工作，才能合理分配企业资金资源，更好地用好资金，为企业创造高额
对地铁喷射注浆法应用于某地铁工程围护结构止水帷幕先期试验的监测数据进行了深入分析。研究结果表明:直桩或斜桩在施工时对周围土体的深层水平位移的影响范围为距桩心3 d范
其组成主要是连接压缩机的电子线路如运转电容,启动电容控制电路,控制压机和启动电容的单刀双掷继电器、可控硅以及控制可控硅控制极G上的单片计算机及其辅助电路,电压检测电
<正> 在戏曲工作中,关于培养下一代,也和继承遗产一样,有一个向前看或向后看的问题。 向后看,总觉得谭鑫培、梅兰芳高不可攀。向前看,就应该有雄心壮志,培育出许许多多“超谭
文章对高职院校实施绩效工资过程中所遇到的岗位设置及聘用管理、各利益群体冲突、绩效工资总量核定、绩效考核等问题进行了分析。指出了在实施绩效工资改革实践中的困境、难
基于规则分类算法提取的规则集通常存在3个问题：首先,提取的分类规则集中短规则过少,致使高质量的规则不多;其次,规则集中规则数量少,训练数据中几乎所有实例仅被规则覆盖一次