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采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备出不同Al掺杂量的ZnO：Al（ZAO）薄膜。系统研究了AI掺杂量对薄膜微结构和光电性能的影响。结果表明：溶胶-凝胶法制备的薄膜具有完好C轴择优取向，在可见光区的透射率均大于85％；随着Al掺杂量的增加，薄膜的平均颗粒尺寸减小，表面电阻率先降低后升高，薄膜的光学带隙宽变宽。在5％H2＋95%N2气氛退火可显著降低薄膜电阻率，掺Al量为2％的薄膜具有最低电阻率5．5×10^-3Ω·cm。