【摘 要】
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选用马日夫盐、三氯化锑、酒石酸钠、磷酸、钼酸钠及自制的聚合物-A和聚合物-B为黑化液的主要成分,通过正交试验优化出了最佳配比,即：马日夫盐8.0g/L,三氯化锑6.0g/L,酒石酸钠
【机 构】
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廊坊广播电视大学,河北大学,廊坊师范学院
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选用马日夫盐、三氯化锑、酒石酸钠、磷酸、钼酸钠及自制的聚合物-A和聚合物-B为黑化液的主要成分,通过正交试验优化出了最佳配比,即：马日夫盐8.0g/L,三氯化锑6.0g/L,酒石酸钠6.0g/L,磷酸50g/L,钼酸钠1.0g/L,聚合物-A 1.0g/L,聚合物-B 1.5g/L。测试结果表明,采用该黑化液得到的黑化膜致密、均匀,抗蚀性好。
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