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MKS-690A是美国MKS公司高精度电容薄膜真空计,精度达万分之五,常被用作国际间比对的传递标准。针对该标准电容薄膜真空计精度降低问题,在探讨其内部结构、工作原理后,给出利用现有设备对其进行精度调整的方法。实际检测证明：该方法简单实用,可操控性强,可为国内其他单位所借鉴。
MKS-690A电容薄膜真空计精度调整方法研究
【摘 要】
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MKS-690A是美国MKS公司高精度电容薄膜真空计,精度达万分之五,常被用作国际间比对的传递标准。针对该标准电容薄膜真空计精度降低问题,在探讨其内部结构、工作原理后,给出利
【机 构】
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核理化工程研究院,天津职业技术师范大学
【出 处】
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科技创新导报
【发表日期】
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2014年25期
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