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简要介绍了V型槽设计的原理,并详细讨论了影响V型槽质量的因素.在实验中对其制作工艺技术进行了研究和改进,制作出高质量的V型槽.这些V型槽边缘完整清晰,底部小丘少,已成功地用于国家自然科学基金项目“混合型集成光学加速度地震检波器理论与实验研究”的集成光学器件封装实验中.
高精度Si—V型槽的制备技术研究
【摘 要】
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简要介绍了V型槽设计的原理,并详细讨论了影响V型槽质量的因素.在实验中对其制作工艺技术进行了研究和改进,制作出高质量的V型槽.这些V型槽边缘完整清晰,底部小丘少,已成功地
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
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天津大学学报
【发表日期】
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2003年4期
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