光刻对准技术研究进展

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:djjsl
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
回顾了光刻对准技术的发展功能,对各种对准方法的原理和特点进行了分析和评价,介绍了几种典型主流光刻对准系统结构形式,并对光刻对准技术前景进行了描述与展望。
其他文献
"九二共识"是两岸政治互信的基石,但蔡英文上台执政至今一直以"台湾民意"为借口拒绝承认"九二共识",使两岸关系陷入了政治僵局。本文利用2005—2017年多年度台湾民意调查数据
应用中药自拟方温经通络汤内服兼中药外敷治疗痛风性关节炎56例,结果按Macnab 改良标准优良率为85.72%,治愈率达64.29%,总有效率达100%.治疗结果表明中药内外兼治可相互补益,
将35例慢性肾功能衰竭分为正虚、邪实两大类进行辨证治疗,结果显效6例,有效21例,无效8例,总有效率77.1%.提示中医药为主治疗本病对延缓病情发展有较好作用.
用内服中药痛风煎对诊断痛风性关节炎30例患者进行临床观察,总有效率100%,临床服用安全可靠.
金融是现代经济的核心。基于中国1978-2014年时间序列数据,运用VAR模型的Grange因果检验、脉冲响应和方差分解方法实证分析了金融发展与产业结构升级和经济增长三者之间的动
本文用马氏链的理论对经济管理中的某些问题进行了预测分析,解决了如何预测出租汽车的流向及如何制定生产方案的问题。
<正> 2001年8月22日,珠海“国家软件产业基地”正式挂牌,“十大国家软件产业基地”变成为“十加一”,在十五期间珠海国家软件基地如何发展成为一个大家都关注的问题。
简要介绍了混合多级串联反应器的设计方法,结合草甘膦的生产特性进行了水解反应实际应用研究,结果表明采用混合多级串联反应器生产草甘膦减少了设备投资,降低了产品成本,生产