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光刻对准技术研究进展
光刻对准技术研究进展
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:djjsl
【摘 要】
:
回顾了光刻对准技术的发展功能,对各种对准方法的原理和特点进行了分析和评价,介绍了几种典型主流光刻对准系统结构形式,并对光刻对准技术前景进行了描述与展望。
【作 者】
:
梁友生
曹益平
邢廷文
【机 构】
:
四川大学光电科学技术系,中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2004年10期
【关键词】
:
光刻技术
对准技术
激光分步对准
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回顾了光刻对准技术的发展功能,对各种对准方法的原理和特点进行了分析和评价,介绍了几种典型主流光刻对准系统结构形式,并对光刻对准技术前景进行了描述与展望。
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