AlGaN紫外探测器p电极的Ni/Au/Ni/Au欧姆接触结构研究

来源 :红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cenkk

【摘要】

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研究了AlGaN半导体p电极的Ni/Au/Ni/Au接触结构的性能和组织结构。退火前,p电极接触具有明显的整流特性。经空气中550℃/3 min一次退火和N。气氛中750℃/30 s二次退火后,电极

【作者】

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祁昌亚胡正飞张燕李向阳张振童慧

【机构】

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同济大学材料科学与工程学院,中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室

【出处】

：

红外

【发表日期】

：

2016年2期

【关键词】

：

ALGAN 欧姆接触退火扩散微结构 AlGaN ohmic contact annealing diffusion microstructure

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研究了AlGaN半导体p电极的Ni/Au/Ni/Au接触结构的性能和组织结构。退火前,p电极接触具有明显的整流特性。经空气中550℃/3 min一次退火和N。气氛中750℃/30 s二次退火后,电极呈现出了良好的欧姆接触。采用扫描电镜（Scanning Electron Microscope,SEM）、透射电镜（Tansmission Electron Microscope,TEM）、能量分散谱仪（Energy Dispersive Spectrometer,EDS）和X射线光电子能谱（X-ray Pho

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