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提出了一种基于亚阈值区的低功耗CMOS晶体振荡器电路。通过环路增益和相位的分析,得出了一般晶体振荡电路的振荡性能优化条件;并通过亚阈值电流源、亚阈值MOS管反馈、电流源放大缓冲级以及电路的其他改进,进一步优化振荡电路的性能。根据这种设计,采用SMIC 0.18μm CMOS单层多晶硅六层金属工艺,实现了一个功耗电流0.7μA的CMOS晶体振荡器。