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首先介绍了在半导体芯片制造中，环氧树脂探针卡的作用及其制作工艺。基于探针的弯曲需严格符合一定的设计规格，阐述了半自动弯针机的设计，详细说明基于Micro Lynx控制器对步进电机的控制，实现对探针的针尖长度及弯曲角度的精确控制。该项技术已应用于探针卡的实际生产中。
半自动弯针机的设计与实现——用于悬臂式环氧树脂探针卡的制造
【摘 要】
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首先介绍了在半导体芯片制造中，环氧树脂探针卡的作用及其制作工艺。基于探针的弯曲需严格符合一定的设计规格，阐述了半自动弯针机的设计，详细说明基于Micro Lynx控制器对步进电
【机 构】
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泉瑞科技有限公司,苏州大学电子信息学院
【出 处】
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工业控制计算机
【发表日期】
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2007年11期
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