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采用0.18μmCMOS工艺设计并制造了一种集成压力传感器。压力传感器单元由可移动上电极、介质膜及固定下电极组成，并由牺牲的金属层获得空气间隙。集成接口电路采用反相器替代传统开关电容放大器中的运算放大器，有效降低了电源电压，极大的降低了整体功耗。后期测试结果显示，所设计的集成压力传感器线性度高，温度稳定性好，在1.0V电源电压下获得11.5bits有效位数，仅消耗8.9μW功率。