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以正硅酸四乙酯(TEOS)为原料采用Stober法制备了单分散、粒径分布均匀、平均直径范围在250～800 nm的纳米二氧化硅微球．通过SEM和XRD表征手段，探讨了水、TEOS和氨水用量对SiO2形貌和粒径的影响．结果表明，添加适量的水会得到粒径较大、均匀且分散性好的SiO2微球;随氨水和TEOS用量增多，SiO2粒径增加;若氨水用量太少，则得到粒径虽小但圆度差、表面不光滑的SiO2．