钛酸锶钡（BST）薄膜的XPS研究

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xxxhht

【摘要】

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采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜,对BST/Pt/Ti/SiO2/Si结构进行了XPS深度分析.研究结果表明:制备的BST薄膜内部化学成分基本一致;氧缺

【作者】

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陈宏伟杨传仁符春林

【机构】

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电子科技大学

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

钛酸锶钡薄膜 X-射线光电子能谱(XPS) barium strontium titanate thin film X-ray photoelectron

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采用射频磁控溅射法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜,对BST/Pt/Ti/SiO2/Si结构进行了XPS深度分析.研究结果表明:制备的BST薄膜内部化学成分基本一致;氧缺位在薄膜体内比表面更严重;Pt底电极向薄膜、衬底之间扩散,BST/Pt及Pt/SiO2之间存在明显的界面过渡层.

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