【摘 要】
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为了检测和表征陶瓷表面的缺陷设计了声表面波测试系统,以 LiNbO_3压电晶体制成的30MHz 叉指换能器用于激发和接收声表面波。在检测过程中,该 STS(表面至表面)换能器置于陶瓷
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐所,中国科学院上海硅酸盐所,中国科学院上海硅酸盐所
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为了检测和表征陶瓷表面的缺陷设计了声表面波测试系统,以 LiNbO_3压电晶体制成的30MHz 叉指换能器用于激发和接收声表面波。在检测过程中,该 STS(表面至表面)换能器置于陶瓷样品之上;两者之间有液体介质作为耦合。以抛光面上含有～200μm 压痕裂纹的 Si_3N_4和 SiC 试样所进行的初步试验表明,该SAW 技术可用于无损评价。
In order to detect and characterize the defects of the ceramic surface, a SAW test system was designed and a 30MHz interdigital transducer made of LiNbO_3 piezoelectric crystal was used to excite and receive SAW. During the inspection, the STS (Surface-to-Surface) transducer was placed on top of the ceramic sample with a liquid medium between them as a coupling. Preliminary tests on Si_3N_4 and SiC samples containing ~ 200μm indentations on the polished surface show that this SAW technique can be used for non-destructive evaluation.
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