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以水平轴硅微机械陀螺仪结构为对象,建立了陀螺仪机电接口的理论模型,分析了模型中杂散电容对输出信号的影响,并用电路分析软件对模型进行仿真。结果表明,陀螺仪活动结构与衬底、引线间的电容对输出信号的影响很大,最后提出了减小杂散电容,提高信噪比的方法。
水平轴硅微机械陀螺仪机电接口模型的电容分析
【摘 要】
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以水平轴硅微机械陀螺仪结构为对象,建立了陀螺仪机电接口的理论模型,分析了模型中杂散电容对输出信号的影响,并用电路分析软件对模型进行仿真。结果表明,陀螺仪活动结构与衬
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程学院
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2008年3期
【基金项目】
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国家863项目资助（2002AA812038）
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