论文部分内容阅读
薄膜体声波滤波器的材料、设计及应用（蒋松涛）薄膜体声波谐振器及滤波器具有工作频率高、工艺简单、尺寸小、易于集成等优点，成为目前应用于高频通信前置滤波器的首选。系统介绍了用于薄膜体声波谐振器的几种主要材料（AlN，ZnO，PZT）的具体特点、制备工艺及薄膜体声波谐振器与滤波器的结构、设计及其应用。