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本文介绍了化学气相沉积技术的发展及其应用，在分析其原理、特点的基础上，介绍几种常用的化学气相沉积技术，并对其未来的发展趋势提出构想。
化学气相沉积技术的发展与应用
【摘 要】
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本文介绍了化学气相沉积技术的发展及其应用，在分析其原理、特点的基础上，介绍几种常用的化学气相沉积技术，并对其未来的发展趋势提出构想。
【机 构】
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重庆交通大学土木建筑学院
【出 处】
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建筑工程技术与设计
【发表日期】
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2004年期
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