【摘 要】
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近年来,随着微机电系统、显微医疗和组织工程等领域技术水平的快速发展,微操作技术引起了科研界和产业界的广泛关注,其对于未来的微纳技术的小型化、功能化和集成设备的制造
【机 构】
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宁波大学理学院微电子科学与工程系;
【基金项目】
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国家自然科学基金(11704204,61604084)
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近年来,随着微机电系统、显微医疗和组织工程等领域技术水平的快速发展,微操作技术引起了科研界和产业界的广泛关注,其对于未来的微纳技术的小型化、功能化和集成设备的制造有着至关重要的作用。利用飞秒激光双光子聚合技术加工的微结构,其尺寸处于微观尺度,质地较脆、黏着力大、尺度效应显著,且微结构所受到的表面力逐渐取代重力起主导作用,以上因素进一步增加了微操作的难度。因此,一种基于毛细作用的玻璃毛细管吞吐微结构的微操作装置被提出,利用毛细力将微结构拾取和移动,再将不同的微结构装配在一起。该方法不仅能将微型原件进行组装,而且能将不同材料、不同特性的微型器件组装在一起,形成复杂的混合微结构。
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