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定向棱镜谐振腔准分子激光器
定向棱镜谐振腔准分子激光器
来源 :量子电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:forest_28
【摘 要】
:
在普通平-平腔XeCl准分子激光器中,用定向棱镜替代平面全反射镜,构成定向棱镜谐振腔准分子激光器.该激光器获得了高抗失调能力和在近场具有相干平顶式的均匀光场、远场具有能
【作 者】
:
程勇
孙斌
王晓兵
王古常
胡雪金
毛少卿
【机 构】
:
武汉军械士官学校光电技术研究所,中国科学院安徽光学精密机械研究所,华中科技大学
【出 处】
:
量子电子学报
【发表日期】
:
2001年6期
【关键词】
:
准分子激光器
定向棱镜
谐振腔
高稳定性
光束质量
excimer laser
directional prism cavity
highstability
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在普通平-平腔XeCl准分子激光器中,用定向棱镜替代平面全反射镜,构成定向棱镜谐振腔准分子激光器.该激光器获得了高抗失调能力和在近场具有相干平顶式的均匀光场、远场具有能量集中的光场分布,压缩了光束发散角,改善和提高了光束质量.提供了一种实用新型的准分子激光器技术.
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