金刚石簿膜探测器的器件结构研究

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sdrb_123456
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研究了两种器件结构(共平面和三明治)对金刚石薄膜辐射探测器性能的影响.研究表明,共平面结构器件在241Am 5.5MeV α粒子辐照下的计数率、电荷收集效率、响应电流和能量分辨率等性能参数均优于三明治结构.Raman散射测试表明,造成上述结果主要是由于金刚石薄膜的成核边和生长边具有不同的微结构特征而引起.
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