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介绍了一种测量热电薄膜平面内Seebeck系数和电导率一体化的测量装置。本装置可用于测量室温到300℃温度范围内薄膜材料平面内Seebeck系数和电导率，测量过程简单，测量成本低，且不会对薄膜造成损伤。实验证明，在薄膜两端沉积一层导电性好的铜膜后，该测量装置完全可以忽略接触电阻的影响，使得测量稳定性好，精度高，可满足纳米薄膜热电材料的Seebeck系数和电导率的一体化测量的要求。