【摘 要】
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用真空热蒸发在不同衬底温度下制备了ZnS薄膜,利用X射线衍射（XRD）、X射线能谱（EDAX）、紫外可见分光光度计（UV-vis）和原子力显微镜（AFM）研究了ZnS薄膜的晶体结构、成分、光学性能和形
【基金项目】
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陕西省自然科学基础研究计划项目(2005F37)
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用真空热蒸发在不同衬底温度下制备了ZnS薄膜,利用X射线衍射（XRD）、X射线能谱（EDAX）、紫外可见分光光度计（UV-vis）和原子力显微镜（AFM）研究了ZnS薄膜的晶体结构、成分、光学性能和形貌,分析了衬底温度对ZnS薄膜结构与光学特性的影响。结果表明,所制备的ZnS薄膜呈立方闪锌矿结构,衬底温度为300℃所制备的ZnS薄膜原子比（S/Zn）为0.95/1 薄膜表面均匀致密,呈多晶态,晶粒尺寸为18.2nm 在可见区有好的透射性能,光学禁带宽度为3.82eV。
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