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为了提高惯性约束聚变实验中高功率激光驱动装置束靶耦合的精度，介绍了几种束靶耦合监测方法，包括靶室外直接监测，靶室内直接监测，靶室内基于共轭原理的传感器监测等。分析了各种方法的优缺点，并重点对基于光学共轭原理的传感器的耦合精度进行了研究，分析了图像测量误差，CCD保护玻璃引入的误差，调焦导轨运动时引入的误差及传感器标定装校时引入的误差。实验测试及精度分析表明，共轭式传感器引入的束靶耦合误差为±10μm。采用这种基于光学共轭原理的传感器，可以实现大型激光驱动装置的快速、高精度束靶耦合。