【摘 要】
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根据液浮转子式微陀螺闭环驱动系统对转子转速测量的需求,提出了一种适用于悬浮转子式微陀螺的反电动势转速检测方法。根据楞次定律,永磁转子在附有检测线圈的定子中转动时,
【机 构】
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哈尔滨工业大学MEMS中心,微系统与微结构制造教育部重点实验室
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根据液浮转子式微陀螺闭环驱动系统对转子转速测量的需求,提出了一种适用于悬浮转子式微陀螺的反电动势转速检测方法。根据楞次定律,永磁转子在附有检测线圈的定子中转动时,会切割磁感线感应出反电动势。对反电动势信号进行分析,即可测得转子的转速。由于检测线圈与驱动线圈共用定子铁芯,这种检测方法在降低定子结构复杂度的同时,也引入了矩形波驱动信号带来的毛刺干扰。干扰信号经过模拟低通滤波器衰减后,通过模数转换器转换为数字信号。该信号通过单片机上运行的过零检测算法处理后,即可得到当前转子的转速。测试结果表明,该转速检测系统在刷新率为4Hz、转速达到5 000r/min以上时,测量值的相对误差在0.3%以内,其非线性误差为0.41%,能够满足对悬浮转子式微陀螺转速进行检测的要求。
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