切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
硅的加工畸变(切割、研磨、抛光)
硅的加工畸变(切割、研磨、抛光)
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:C_k_b
【摘 要】
:
<正> 在硅片的制造工序中,通常要进行切割、研磨、抛光等加工,因此在硅片表面将形成畸变层。此加工畸变层对制成的器件之特性有很大的影响,这将成为元件制造中产生晶体缺陷的
【作 者】
:
佐藤升
王长河
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1974年10期
【关键词】
:
半宽度
射线衍射
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
<正> 在硅片的制造工序中,通常要进行切割、研磨、抛光等加工,因此在硅片表面将形成畸变层。此加工畸变层对制成的器件之特性有很大的影响,这将成为元件制造中产生晶体缺陷的来源,迫切要求减小加工畸变的各种试验已被进行过,曾用电学、
其他文献
Tei指数评价肺动脉高压患者右心功能的临床价值
目的:探讨组织多普勒测定右室Tei指数评估肺动脉高压患者右心功能的临床应用价值。方法:根据超声多普勒测量肺动脉收缩压、平均压,设置轻度、中度、重度三组和健康对照组。测
期刊
组织多普勒
肺动脉高压
右室Tei指数
无线远程温度及可燃气检测系统
本设计是以STC89C52单片机为核心,采用单总线数字式温度传感器DS18B20、烟雾传感器MQ-2、LCD1602、数码管及nRF24L01无线收发一体模块组成的新型温度及可燃气无线采集报警系
期刊
可燃气
无线远程
子程序
主程序
检测系统
寄存器
接收端
发送端
血流动力学改变与指脉波波形变化的相关性观察
监测SpO2能了解病人的呼吸和氧合情况,随机抽取120例病人,在麻醉手术过程中,观察指脉波的改变与血流动力学的变化作一系列相关性观察,发现血流动力学的急剧变化能引起指脉波
期刊
血流动力学
指脉波
芪仙汤配合耳穴压丸治疗糖尿病肾病的体会
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
会议
电力企业廉政文化建设
廉政文化是在党风廉政建设和反腐败工作的实践中形成的,具有政治属性;同时,它又是人民群众的大众文化,具有社会属性, 对社会有较强的辐射功能。廉政文化的双重性对社会意识具
期刊
电力企业
廉政文化
建设
高调慈善又何妨
据报道,9月7日,台湾女星林志玲走进保山市施甸县水长乡九条沟小学,与学生们一起打羽毛球、玩游戏,并当起老师给孩子们上课。据悉,林志玲此行是参加由中国扶贫基金会组织开展的“筑
报纸
心电图在晕厥初始评估、诊断和危险分层中的作用
心电图作为一项常规的心脏检查项目,在确诊或排除心源性晕厥的初始评估、诊断以及风险预测中都有重要的意义。不断更新的指南也详细阐述了心电检查项目(如动态心电图、运动负
期刊
心电图
心源性晕厥
动态心电图
运动负荷试验心电图
监测心电图
远程心电
医学学术论文英文摘要中be done的短语学特征分析——基于自然语言处理的研究
在医学论文英文摘要中,be done是使用率较高的一类句式。选择医学论文英文摘要建立英文纯文本语料库,使用Python程序设计语言和自然语言处理工具(NLTK),对医学论文英文摘要中be
期刊
be done
医学学术论文
摘要
语义分类
语篇功能
呼吸内科中老年患者常见护理问题的研究
目的探究呼吸内科中老年患者护理过程中的常见问题并以之为依据设计优化呼吸内科中老年患者护理的策略。方法选取2015年06月~2016年06月我院收治的126例呼吸内科中老年患者为
期刊
呼吸内科
中老年患者
常见护理问题
问题发生率
其他学术论文