【摘 要】
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在椭偏测量中,吸收膜的三个参数n_1,k_1和d不能由一组测量数据△、ψ求出确定的解。本文讨论由膜的生长或溶解过程中不同厚度时测得的各组椭偏数据求解吸收膜参数的方法。首
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,
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在椭偏测量中,吸收膜的三个参数n_1,k_1和d不能由一组测量数据△、ψ求出确定的解。本文讨论由膜的生长或溶解过程中不同厚度时测得的各组椭偏数据求解吸收膜参数的方法。首先采用蒙特卡罗随机取点法搜索求解n_1和k_1,找出作为目标函数的椭偏参数的均方差的极小值点。接着分别确定相应的膜厚d_1,d_2…。根据上述算法编写了一个计算吸收膜的BASIC程序。
In the ellipsometry, the three parameters n_1, k_1 and d of the absorption film can not be determined by a set of measurement data Δ, ψ. This article discusses methods for solving absorption film parameters by measuring the ellipsometric data for each group at different thicknesses during film growth or dissolution. First, Monte Carlo method is used to search for n_1 and k_1 by random pick-point method to find the minimum point of mean square deviation of ellipsometric parameter as the objective function. Then determine the corresponding film thickness d_1, d_2 ... respectively. According to the above algorithm to calculate a BASIC program to calculate the absorption film.
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