【摘 要】
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采用磁控溅射结合离子束混合技术在不锈钢基体上制备C-(50～90)％ SiC涂层,对涂层进行加热处理及氢离子注入.对各种条件下制备的涂层进行元素深度分布分析.结果表明,SiC组分含量
【机 构】
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湖北科技学院核技术与化学生物学院,湖北咸宁,437100
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采用磁控溅射结合离子束混合技术在不锈钢基体上制备C-(50～90)％ SiC涂层,对涂层进行加热处理及氢离子注入.对各种条件下制备的涂层进行元素深度分布分析.结果表明,SiC组分含量高的涂层具有更好的阻氢性能,而C组分含量高的涂层与基体具有更好的结合性能,综合考虑今后在氚废物包装桶涂覆的实际使用工况来看,采用C-(75～85)％SiC作为涂层似乎更合适些.通过对涂层阻氢性能的分析发现,C-SiC涂层经加热处理后,涂层的阻氢能力得到进一步的提高,并且可以提高氢离子在涂层中的稳定性.
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