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虽然采用应力工程技术可以通过增强迁移率实现令人难以置信的性能增益，但也会引起器件的可靠性退化。尤其是还必须把负偏置温度不稳定性（NBTI）退化程度与要求实现的性能增益进行权衡。由于NBTI可使pMOSFET器件的阈值电压发生变化，因此NBTI是一项重要的可靠性要求。
应力硅技术是否影响器件可靠性
【摘 要】
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虽然采用应力工程技术可以通过增强迁移率实现令人难以置信的性能增益，但也会引起器件的可靠性退化。尤其是还必须把负偏置温度不稳定性（NBTI）退化程度与要求实现的性能增益进行
【出 处】
：
集成电路应用
【发表日期】
：
2006年3期
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