双岛五梁式微型加速度传感器的结构分析

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用广义板理论和有限元平板壳元素与三维实体元素的组成方法,建立了微型加速度传感器整体的有限元分析模型。对模型进行了静态和动态分析,给出了具体的分析结果。依据强度条件对工作梁进行了优化设计,使微型加速度传感器的结构分析和设计更加合理。
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