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文章采用XRD、SEM研究了球型硅微粉的晶体结构和微观结构。XRD测试晶体结构,发现高温熔融喷射法制备的球型硅微粉里面有晶态石英存在;SEM分析微观结构发现高温熔融喷射法制备的部分球型硅微粉颗粒内部有孔洞存在。通过对晶体结构和微观结构进行分析,找到了高温熔融喷射法生产的球型硅微粉内结晶态存在的原因。