【摘 要】
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介绍了3个热阴极电离规和2个反磁控型冷阴极电离规的计量学特性实验研究结果.实验设备是一台高真空基础标准,实验范围为10-7～10-3Pa,实验气体为N2、Ar、He和H2.在连续72 h观测
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介绍了3个热阴极电离规和2个反磁控型冷阴极电离规的计量学特性实验研究结果.实验设备是一台高真空基础标准,实验范围为10-7～10-3Pa,实验气体为N2、Ar、He和H2.在连续72 h观测中,热阴极电离规在N2、Ar和He中的稳定性优于反磁控规,但在H2中则所有规的稳定性相似.在6个月的重复校准中,所有规在N2、Ar和He中的长期稳定性相似,但在H2中反磁控规的长期稳定性优于热阴极电离规.对于不同的气体,反磁控规的非连续性出现在不同的压力点.在很宽的压力范围内,热阴极电离规的相对灵敏度变化较小,但反磁控
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