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采用ＹＢＣＯ烧结靶平面磁控溅射，原位处理工艺，在多晶银基片上进行镀制高温超导薄膜的研究。经过大量实验，研究了沉积温度，真空度，氩氧比对膜层结构，性能的影响，并在温度为７００℃，真空度为１８Ｐａ，氩氧比为１：１，靶电流１－２Ａ的条件下，获得了具有Ｃ轴织构的ＹＢＣＯ超导薄膜。
在多晶银基片上制备YBCO织构膜的研究
【摘 要】
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采用ＹＢＣＯ烧结靶平面磁控溅射，原位处理工艺，在多晶银基片上进行镀制高温超导薄膜的研究。经过大量实验，研究了沉积温度，真空度，氩氧比对膜层结构，性能的影响，并在温度为７００℃，真空度为１８Ｐａ，氩氧比
【机 构】
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北京工业大学金属材料学与工程学系
【出 处】
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北京工业大学学报
【发表日期】
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1996年2期
【基金项目】
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国家超导中心资助
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