滚轮式湿膜厚度规校准方法研究

来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:davidzn
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
介绍了2种校准滚轮式湿膜厚度规的方法,在同样的实验条件下,分别采用2种方法对同一滚轮式湿膜厚度规样品进行多次反复实验测量.从实验测量的复杂性、仪器的精度、所耗时间长短以及重复性等方面进行对比,结果表明由上海市计量测试技术研究院机械所自主研发的标准装置测量精度达到了1μm,测量耗时3~5 min.
其他文献
介绍了新型的几何量光学微纳米测量仪器——无限变焦3D形貌仪。简述了该仪器的测量原理,系统分析了其功能与技术特点。结合实际检测需求,介绍了其在几何量微纳米检测中的应用
论述一种基于光束偏转法新型原子力显微镜测头的设计,在结构上它采用殷钢整体套筒将光学元件和光电接收装置封装在内部,减少了环境对光路和测头的影响;在光路设计上,通过孔径
为实现纳米薄膜厚度计量的量值溯源,研制了一套纳米薄膜厚度校准样片,其中纳米单层膜厚度标准片带有可供各类接触式测量仪器测量的膜厚图形,厚度值从5 nm至100 nm.该校准样板
对6~15 m在线钢管测长系统原理、结构进行了介绍,制定了该测长系统的校准方法.该方法主要包含激光器与参考零位间距的测量、校准标准器的制备、系统测长重复性的校准、系统测
使用双频激光干涉仪作为检测手段,采用机床检验的国际标准ISO230作为评判标准,结合了某公司2个企业的具体实例,阐述了企业对数控机床精度校正认知的2个误区,以及可能带来的严
对三针/T形测头和螺纹扫描测量方法的数据一致性进行了研究.通过对测量方法和实验数据的分析与总结,得出两种测量方法的不确定度均能满足螺纹量规的中径测量要求.实验获得的
三坐标测量机测头是坐标测量机的一部分,主要是用来触测工件表面.介绍了三坐标测头的校验目的与基本原理,以接触式测头为例,探讨测头在实际测量中的校验与其实用技巧.
针对高精度转台对分度误差的精密测量需求,研究了采用多齿分度台、正多面棱体与自准直仪组合,准确测量高精度转台分度误差的排列常角法.介绍了分度误差测量系统的基本原理及
量块的使用已有近百年的历史,其在长度计量中的使用已非常广泛.直到现在,许多新的、高精度的长度测量仪器依然使用量块来进行检测校准等计量工作.由于大量块在很多精密仪器中
大量块在三坐标测量机、测高仪等许多高精度的长度测量仪器中的使用已很普遍,但是其在使用中的姿态问题如不注意会对测量准确度产生很大的影响.本文将对大量块使用中可能影响