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<正>在国内,要求耐高温、高压(150℃,70MPa),高精度(0.1%FS),低滞后(0.1%FS),适合于深井用的电容式传感器,目前尚属空白,本文就为此而作.被测压力P作用于弹性膜上时,由于被测压力很高,弹性膜必须采用厚膜.
高精度低滞后电容压力传感器的研制
【摘 要】
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<正>在国内,要求耐高温、高压(150℃,70MPa),高精度(0.1%FS),低滞后(0.1%FS),适合于深井用的电容式传感器,目前尚属空白,本文就为此而作.被测压力P作用于弹性膜上时,由于被测
【机 构】
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东南大学,东南大学
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1992年3期
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