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三维面形全场共焦检测的新方法
三维面形全场共焦检测的新方法
来源 :大连理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lzltgp
【摘 要】
:
三维面形全场共焦检测的新方法田维坚陈波庞霖曾红军郭履容(四川大学信息光学研究中心成都610064)在三维光学检测中,基于共焦原理的飞点扫描层析术,由于其高对比度、高分辨率,特别是它的
【作 者】
:
田维坚
陈波
庞霖
曾红军
郭履容
【机 构】
:
四川大学信息光学研究中心
【出 处】
:
大连理工大学学报
【发表日期】
:
1997年S2期
【关键词】
:
三维面形
共焦
新方法
微光学阵列合成器件
信息光学
检测方法
光学系统
三维检测
光学并行处理
微透镜列阵
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三维面形全场共焦检测的新方法田维坚陈波庞霖曾红军郭履容(四川大学信息光学研究中心成都610064)在三维光学检测中,基于共焦原理的飞点扫描层析术,由于其高对比度、高分辨率,特别是它的三维检测原理简单、易于实行三维成像数字化处理等优点,已越来越引起人们...
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