【摘 要】
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利用脉冲能量密度等离子体（PHEDP）表面改性技术，在45号钢、γ不锈钢等试样上获得AlN膜。采用XRD、XPS和TEM等方法研究了改性膜的组织结构。研究表明，改性膜是由10nm尺寸的AlN相组
【机 构】
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北京科技大学材料物理系,中国科学院物理研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金59871060资助项目
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利用脉冲能量密度等离子体（PHEDP）表面改性技术，在45号钢、γ不锈钢等试样上获得AlN膜。采用XRD、XPS和TEM等方法研究了改性膜的组织结构。研究表明，改性膜是由10nm尺寸的AlN相组成。AlN相结构随基体的结构而异，知具备面心立方结构的基休下，形成具有面心立方结构的c-AlN相。而在体心立方的基体上形成六方h-AlN相。从热力学角度，讨论了PHEDP表面改性中AlN形成的特性。
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