【摘 要】
：
InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin film transistor, IGZO TFT)与Cu互连组合的驱动背板,在生产线机台上的抗静电放电(electrostatic discharge, ESD)耐压能力比传统a-Si TFT背
【机 构】
：
北京大学信息工程学院; 北京大学信息科学技术学院; 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司; 南京中电熊猫平板显示科技有限公司;
论文部分内容阅读
InGaZnO薄膜晶体管(InGaZnO thin film transistor, IGZO TFT)与Cu互连组合的驱动背板,在生产线机台上的抗静电放电(electrostatic discharge, ESD)耐压能力比传统a-Si TFT背板低将近一个数量级电压,数据线和扫描线层间Mo/Cu互连抗击穿电压只有传统a-Si TFT背板层间Mo/Al/Mo互连的60%左右.层间Cu互连的ESD破坏成为影响IGZO TFT超高清面板正常显示的一个重要因素.本文建立了扫描线层Cu金属扩散进入SiNx/SiO2绝缘层和数据线层Cu金属在爬坡拐角处扩散进入SiO2绝缘层,诱发层间Cu互连ESD破坏的机理模型.提出了Cu互连周边ESD保护电路架构三种基本结构的选型条件,以及保证层间Cu互连抗ESD击穿能力的ESD保护电路设计方法.利用本文提出的方法,有效降低了IGZO TFT背板的层间Cu互连ESD破坏风险.
其他文献
本论文意在以昆曲的发展为基础,以昆曲的研究成果为研究对象,以历史发展的时间为序,力图对新时期以来三十年的昆曲学术发展的脉络加以整理、总结和分析。重在以昆曲发展为历
人参是我国重要的传统中药材，“百草之王”，“众药之首”，是延年益寿、滋补强身的“人间仙草”，其应用已有4000多年的历史。吉林省省委、省政府历来十分重视人参产业的发展，于2005
目的:观察胆舒胶囊对高脂血症性急性胰腺炎患者血脂、血液流变学及胆汁酸的影响。方法:78例高脂血症性急性胰腺炎(HLAP)患者随机分为2组,均按急性胰腺炎(AP)常规治疗;治疗组
在新课程改革背景下,合作教学是一种不可缺少的教学模式,它是小学数学教学的一种有效的组织方式和教学策略。然而,教师在应用合作教学模式的过程中,存在着缺少评价、指导性较
青岛市现代文学学会举行抗战文学研究反思展望研讨会为纪念世界反法西斯战争和中国人民抗日战争胜利五十周年，青岛市中国现代文学研究会特于１９９５年９月２日在青岛大学举办了以“抗战文
<正>孔子、孟子都是儒家学派的代表人物,他们在长期教学过程中总结出的一套培养人才的方法,直到今天仍有很多值得我们借鉴的地方。一孔子与孟子教育思想的相同点(一)人人都应
目的研究疏肝补肾汤联合双丹养血胶囊治疗多囊卵巢综合征（PCOS）对患者卵巢储备和受孕功能的影响结局。方法选取2017年8月至2018年9月医院PCOS者96例，按照门诊就诊顺序，根据单双号
编制矿产资源资产负债表对把握国民经济-资源利用-生态损毁-环境效益之间的互动关系具有重要作用。本文确定了矿产资源取得价值用矿业权益金体现,矿产资源使用价值用证实资源
本文运用VAR模型通过实证方法对融资平台与地方经济及城镇化进程间相互关系进行探究,客观评价融资平台在地方经济发展及城镇化进程中所起到的作用。基于实证结果,对当前地方
由于传统的激光发生器存在脉宽控制效果差、控制效率低等问题,无法满足新型红外激光发生器的要求,为了解决该问题,提出了基于交流变频调速的嵌入式红外射频激光发生器负载均