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超精密加工精度由亚微米发展到纳米级,已接近工程材料的原子、分子尺寸;对环境的要求十分严格,洁净、减振、隔振、恒温、恒湿、抗电磁干扰等是加工的必要的环境条件。
超精密加工环境技术的现状和发展
【摘 要】
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超精密加工精度由亚微米发展到纳米级,已接近工程材料的原子、分子尺寸;对环境的要求十分严格,洁净、减振、隔振、恒温、恒湿、抗电磁干扰等是加工的必要的环境条件。
【机 构】
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航空航天部628所
【出 处】
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航天工艺
【发表日期】
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1990年3期
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