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Preparation and Microstructure of Highly - Oriented LaNiO3 Thin Films by RF Sputtering Method

来源 :中国航空学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhouyueying

【摘 要】

：

In an attempt of being used as buffer layers and electrodes for the textured BaTiO3 (BTO) ferroelectric thin films, highly (100)-oriented LaNiO3 (LNO) thin film

【作 者】

：

CHENG Xing-hua QIAO Liang BI X 

【机 构】

：

SchoolofMaterialsScienceandEngineering

【出 处】

：

中国航空学报：英文版

【发表日期】

：

2006年B12期

【关键词】

：

LaNiO3薄膜 晶体取向 射频溅射法 制备 显微结构 LaNiO3 film  perovskite  orientation  risistivity 

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In an attempt of being used as buffer layers and electrodes for the textured BaTiO3 (BTO) ferroelectric thin films, highly (100)-oriented LaNiO3 (LNO) thin films of different thicknesses were deposited directly on Si (100) substrate with radio-frequency (

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