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蓝宝石衬底上6H-SiC单晶薄膜的化学气相淀积生长

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ycboyyb

【作 者】

：

孙澜  陈平  韩平  郑有  史君  朱嘉  朱顺明  顾书林 

【出 处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2004年04期

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