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本文提出在弹性元件表面用微波ECR溅射TiN薄膜实现电力设备的液位高精度变送的技术。由于TiN薄膜优异的机械特性 ,加之对敏感元件进行了二元线性插值法进行智能补偿 ,实现了液位测量的快响应和高精度。
电力设备中液位高精度变送技术的研究
【摘 要】
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本文提出在弹性元件表面用微波ECR溅射TiN薄膜实现电力设备的液位高精度变送的技术。由于TiN薄膜优异的机械特性 ,加之对敏感元件进行了二元线性插值法进行智能补偿 ,实现了液位测量的快响应和高精度。
【机 构】
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扬州大学,中国科学院等离子体研究所
【出 处】
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电工电能新技术
【发表日期】
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2002年02期
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