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聚焦电子/离子束技术的原理及应用
聚焦电子/离子束技术的原理及应用
来源 :大学物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaofeixiaheiwa
【摘 要】
:
总结近几年来聚焦电子/离子束双束技术的发展概况和主要应用领域,主要对双束系统的结构、原理及其在刻蚀、沉积、离子注入、显微成像和能谱分析等几方面的应用发展进行介绍,
【作 者】
:
田吴翟
方靖岳
张学骜
【机 构】
:
国防科学技术大学
【出 处】
:
大学物理实验
【发表日期】
:
2013年3期
【关键词】
:
纳米技术
双束
聚焦离子束
聚焦电子束
诱导沉积
刻蚀
三维成像
光刻
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总结近几年来聚焦电子/离子束双束技术的发展概况和主要应用领域,主要对双束系统的结构、原理及其在刻蚀、沉积、离子注入、显微成像和能谱分析等几方面的应用发展进行介绍,讨论双束技术未来发展的趋势。
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