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微机电系统（MEMS）是一项与集成电路制造工艺相似的新兴技术，其研究领域已扩展到了射频（RF）与微波领域，并有继续向毫米波频率扩展的趋势。文中结合RFMEMS技术研究的最新进展，研究了如何利用最新的RFMEMS技术设计毫米波探测系统，以实现毫米波探测系统的小型化、低功耗和高性能。
RF MEMS技术在毫米波探测系统中的应用
【摘 要】
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微机电系统（MEMS）是一项与集成电路制造工艺相似的新兴技术，其研究领域已扩展到了射频（RF）与微波领域，并有继续向毫米波频率扩展的趋势。文中结合RFMEMS技术研究的最新进展，研究了如
【机 构】
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南京理工大学毫米波光波近感技术研究所
【出 处】
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现代雷达
【发表日期】
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2007年8期
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