涂层与薄膜

来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xinshou2010
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20001201 原位退火时磁控溅射Nd1ea2Cu3O7-δ薄膜的影响——Mori Z.Thin Solid Films,1999,354(1~2):195(英文)rn NdBa2Cu3O7-δ(NBCO)薄膜经原位退火后,薄膜质量得到改善。用单靶直流磁控溅射方法在MgO(100)上制备NBCO薄膜,沉积后将薄膜冷却至室温,然后在400 Pa O2气氛中,将沉积室温升高至350~600℃,保温0.5~80.0 h。经此处理后,薄膜的超导性能以及电阻率、粗糙度明显改善。原位退火后可提高薄膜c轴向零电阻温度(tc=-178.7℃),薄膜临界电流密度为1×106A/cm2(-196℃),薄膜粗糙度为5.5 nm。20001202 金刚石薄膜的生长和缺陷特征——Lee S.Thin SolidFilms,1999,353(1~2):45(英文)rn 研究了用微波等离子条件增强CVD技术及CH4-H2混合气制备新型金刚石膜,用X-射线光谱法测试了金刚石薄膜相组成,用拉曼光谱仪,扫描电镜、原子力显微镜观察了薄膜缺陷特征(如在纳米晶粒晶界处存在sP2键C原子)。厚度为170~430 nm带缺陷的金刚石膜具有3层结构,即光亮富C中间层、类整体金刚石层和表面粗糙层,即使金刚石薄膜很薄(如57 nm)仍观察到以上分层结构。当金刚石膜很薄时,薄膜中出现SiC层。20001203 高压磁控溅射纳米ZnS薄膜的特性——Mandal S K.Thin Solid Film,1999,350(1~2):209(英文)rn 研究了用ZnS靶材,在Ar等离子体中磁控溅射沉积厚度10~14 nm的纳米ZnS薄膜。研究表明,沉积的ZnS薄膜为闪锌矿结构,薄膜光致发光峰取决于薄膜的比表面积,用声子和非均匀增宽观点解释了薄膜光吸收。rn
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