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在外加热的化学气相沉积（CVD）炉中，以H2为载气，甲基三氯硅烷（MTS）为源气，氩气为稀释气体，在反应烧结碳化硅基底上，采用CVD工艺制备了碳化硅晶须，研究了沉积温度和稀释气体对产物形貌的影响。分别用XRD、SEM分析了沉积物的相组成和形貌。SEM分析结果表明：1100℃时的沉积物完全由晶须组成，1150℃时的沉积物由晶须和部分晶粒组成；1100℃和1150℃相比，沉积温度较高时，晶须的平均直径增大；随着稀释气体的加入，在1100℃时，晶须直径的分布变窄，弯曲缺陷减少，在1150℃时晶须中颗粒沉积物明显