纳米MOSFET/SOI器件新结构

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vialli_7
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重点介绍器件进入纳米尺度后出现的 MOSFET/SOI器件的新结构,如超薄 SOI器件、双栅 MOSFET、 FinFET和应变沟道等 SOI器件,并对它们的性能进行了分析.
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