切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
纳米MOSFET/SOI器件新结构
纳米MOSFET/SOI器件新结构
来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vialli_7
【摘 要】
:
重点介绍器件进入纳米尺度后出现的 MOSFET/SOI器件的新结构,如超薄 SOI器件、双栅 MOSFET、 FinFET和应变沟道等 SOI器件,并对它们的性能进行了分析.
【作 者】
:
张正选
林成鲁
【机 构】
:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
:
功能材料与器件学报
【发表日期】
:
2003年2期
【关键词】
:
纳米MOSFET/SOI器件
双栅MOSFET
FINFET
应变沟道
结构
CMOS器件
nanometer MOSFET SOI double-gate M
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
重点介绍器件进入纳米尺度后出现的 MOSFET/SOI器件的新结构,如超薄 SOI器件、双栅 MOSFET、 FinFET和应变沟道等 SOI器件,并对它们的性能进行了分析.
其他文献
Pr^3+摩尔浓度对CaTiO3:Pr^3+红色长余辉材料的影响
制备了不同Pr3+摩尔浓度下的CaTiO3:Pr3+红色长余辉材料,测量了磷光体的的初始亮度、余辉曲线、激发光谱和发射光谱、热释光曲线.研究发现CaTiO3:Pr3+合适的Pr3+摩尔浓度为0.
期刊
长余辉
摩尔浓度
激发光谱
发射光谱
热释光
发光材料
long afterglow molar ratio excitation spectra emissi
经济转型背景下山西体育旅游产业发展战略研究
山西拥有大量的旅游资源,适合发展体育旅游产业的实际,笔者采用问卷调查、实地考察等方法,研究了山西体育旅游发展现状。通过PEST和SWOT战略理论工具分析了山西体育旅游产业
期刊
经济转型
体育旅游
资源型经济
转向与回归:改革开放40年民俗体育研究的回溯与展望
为深入揭示改革开放40年我国民俗体育研究的发展动态,总结改革开放40年研究的经验,探索新时期民俗体育研究新的趋势与范式,运用文献资料法、逻辑分析法,对改革开放40年民俗体
期刊
民俗体育
改革开放40年
本土化
转向与回归
folk sports40 years of reform and opening uplocalizationt
试论“德治”的伟大意义
“德治” ,即用社会主义道德标准治理国家。其内涵为 :社会主义道德建设要以为人民服务为核心 ,以集体主义为原则 ,在全社会形成团结互助、平等友爱、共同前进的人际关系。“
期刊
社会主义道德
长治久安
以德治国
素质教育的灵魂
鸿茅药酒多次登广告黑榜 违法成本低是主因
近日,内蒙古鸿茅药业有限公司(以下简称鸿茅药业)生产的鸿茅药酒,因在宣传时被认定"夸大宣传治疗范围",被新疆库尔勒市食药监局责令停售。记者梳理发现,自去年9月鸿茅药酒成为新
期刊
黑榜
违法成本
食药监
新疆库尔勒市
治疗范围
保健酒
不合格
药监局
产品质量
物质文化遗产
镶嵌工艺与丝网印刷
镶嵌工艺是中国传统工艺制做技术的一个工种,这一技术是由商周时期的青铜器发展演变而来的.当时的青铜器的鼎、匡、尊、壶等器物上都镶有精致的金银.这种镶嵌工艺技术被广泛
期刊
装饰
网版
制版
镶嵌工艺
丝网印刷
其他学术论文