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本文介绍了基于超微磨粒电泳效应的磨削加工机理，着重分析不同材料特性的磨具有对电泳磨削效果的影响，通过对半导体硅片的电泳磨削试验，表明弹性模量小的磨具能更有效地降低工件表面粗糙度。
不同磨具在电泳磨削中的应用
【摘 要】
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本文介绍了基于超微磨粒电泳效应的磨削加工机理，着重分析不同材料特性的磨具有对电泳磨削效果的影响，通过对半导体硅片的电泳磨削试验，表明弹性模量小的磨具能更有效地降低工件
【机 构】
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浙江工业大学机电工程学院
【出 处】
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机械工艺师
【发表日期】
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1998年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金!59575070
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