Y_1Ba_2Cu_3O_(7-x)半导体薄膜的研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：winterzeng

【摘要】

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对于以Si为衬底的Y1Ba2 Cu3O7-x薄膜 ,当x >0 .5时 ,薄膜的导电性由超导态转向半导体态。我们采用了直流溅射法在Si,SiO2 /Si和 /SiO2 /Si三种基片做衬底制备了Y1Ba2 Cu3O7-x

【作者】

：

孙强刘景和李建立邢宏岩刘玲徐斌李国桢黄江平李

【机构】

：

长春光学精密机械学院昆明物理研究所昆明物理研

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2000年S1期

【关键词】

：

Y_1Ba_2Cu_3O_(7-x) 半导体薄膜温度电阻系数敏感元 Y 1Ba 2Cu 3O 7- x film semiconductor film te

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对于以Si为衬底的Y1Ba2 Cu3O7-x薄膜 ,当x >0 .5时 ,薄膜的导电性由超导态转向半导体态。我们采用了直流溅射法在Si,SiO2 /Si和 /SiO2 /Si三种基片做衬底制备了Y1Ba2 Cu3O7-x半导体薄膜。进行了温度电阻系数(TCR)测试、X射线衍射分析物相的测定、开展了霍尔系数和拉曼衍射 (Ramanshift)的微观分析实验 ,并进行了Y1Ba2 Cu3O7-x半导体多晶薄膜在室温下的黑体辐射的响应实验。通过我们的实验验证了这种薄膜的氧含量 ,与国外文献资料报道的实验结

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