【摘 要】
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树脂材料表面平坦度高,光透过率高,介电常数低（ε≈3.5）,在薄膜晶体管显示器（TFT-LCD）中使用树脂材料作为钝化层,可以降低公共电极和源、漏金属之间的电容,降低逻辑功耗,达到降低
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树脂材料表面平坦度高,光透过率高,介电常数低（ε≈3.5）,在薄膜晶体管显示器（TFT-LCD）中使用树脂材料作为钝化层,可以降低公共电极和源、漏金属之间的电容,降低逻辑功耗,达到降低整体功耗的目的,同时增大开口率。文章讨论在边缘场中引入树脂材料作为钝化层产生的与氧化铟锡（ITO）刻蚀相关问题：金属Mo腐蚀,ITO缺失等。通过优化刻蚀工艺,感光树脂与非感光树脂和ITO刻蚀液的搭配,以及改变树脂涂胶工艺,成功地将树脂引入TFT-LCD中。
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