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高冲击微机械压阻式加速度传感器是典型的微机械产品,具有体积小、量程大、频带宽、直流响应等特点,在需要高冲击信号测量的场合有重要应用价值。其基本工作原理是以半导体的压阻效应为基础,常用梁岛结构,
高冲击压阻式加速度传感器
【摘 要】
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高冲击微机械压阻式加速度传感器是典型的微机械产品,具有体积小、量程大、频带宽、直流响应等特点,在需要高冲击信号测量的场合有重要应用价值。其基本工作原理是以半导体的压阻效应为基础,常用梁岛结构,
【出 处】
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信息与电子工程
【发表日期】
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2010年04期
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