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混合集成电路分两种:薄膜混合集成电路和厚混合集成电路.薄膜是蒸发或溅射在微晶玻璃片上或99%陶瓷片上淀积金属膜,通过光刻形成薄膜图形.厚膜通过浆料印刷在96%陶瓷片上经烧结形成必要的厚膜图形.这种成熟的技术已经用在科研生产中.
一种无线键合的互连技术
【摘 要】
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混合集成电路分两种:薄膜混合集成电路和厚混合集成电路.薄膜是蒸发或溅射在微晶玻璃片上或99%陶瓷片上淀积金属膜,通过光刻形成薄膜图形.厚膜通过浆料印刷在96%陶瓷片上经烧
【机 构】
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中国航天科技集团公司九院七七一所
【出 处】
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世界电子元器件
【发表日期】
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2001年4期
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